efecto
En la familia de los gases electrónicos, el silano, el fosfano, el borano y el arsano se utilizan ampliamente y son materias primas extremadamente importantes para la fabricación de circuitos integrados. El fosfoano es una importante fuente de dopaje de tipo N en la fabricación de dispositivos semiconductores y también se utiliza en procesos como la precipitación química de vapor de polisilicio, materiales epitaxiales GaP, implantación de iones, proceso MOCVD y preparación de películas pasivas sobre vidrio de fosforosilicio (PSG).
PH3, inflamable, explosivo, altamente tóxico, con niveles de toxicidad de PEL/TLV 0,3 ppm, STEL 1 ppm, LC50 20 ppm, IDLH 200 ppm, es una sustancia peligrosa altamente tóxica.
Respuesta de emergencia y eliminación
1. Respuesta de emergencia ante fugas
Evacuar rápidamente al personal del área contaminada hacia la zona contra el viento y aislarlo inmediatamente durante 450 metros, con restricciones estrictas de entrada y salida. Corta la fuente de fuego. Se recomienda que el personal de emergencia use respiradores autónomos de presión positiva y ropa protectora. Corte la fuente de fuga tanto como sea posible. Ventilación razonable y difusión acelerada. Diluir y disolver con agua pulverizada. Construir terraplenes o cavar fosas para contener una gran cantidad de aguas residuales generadas. Si es posible, utilice un extractor de aire para llevar el gas filtrado a un área abierta o instale una boquilla adecuada para quemarlo. Los contenedores con fugas deben manipularse, repararse e inspeccionarse adecuadamente antes de su uso.
2 、 Medidas de protección
Protección respiratoria: En condiciones normales de trabajo, utilizar una máscara de gas filtrada (máscara completa). En ambientes de alta concentración, es necesario usar un respirador de aire o un respirador de oxígeno. Se recomienda usar un respirador de aire durante un rescate o evacuación de emergencia.
Protección de los ojos: Utilice gafas de seguridad químicas.
Protección del cuerpo: Use una chaqueta adhesiva de gas estilo máscara.
Protección de las manos: Usar guantes de goma.
Otros: Está estrictamente prohibido fumar, comer y beber en el lugar de trabajo. Después del trabajo, báñese y cámbiese de ropa. Mantener buenos hábitos de higiene. El ingreso a tanques, espacios restringidos u otras áreas de alta concentración para trabajar debe ser supervisado por alguien.
3. Medidas de primeros auxilios.
Inhalación: Retirar rápidamente del lugar a un lugar con aire fresco. Mantener la permeabilidad de las vías respiratorias. Si la respiración es difícil, administre oxígeno. Si la respiración se detiene, realice inmediatamente respiración artificial. Busque atención médica.
Método de extinción de incendios: los bomberos deben usar máscaras de gas tipo filtro (máscaras faciales completas) o respiradores de tipo aislamiento, usar ropa protectora contra incendios y gases de cuerpo completo y extinguir el fuego contra el viento. Cortar la fuente de aire. Si no se puede cortar inmediatamente la fuente de gas, no se permite apagar el gas ardiendo. Rocíe agua para enfriar el recipiente y, si es posible, mueva el recipiente del fuego a un área abierta. Agente extintor: agua pulverizada, espuma, polvo seco, dióxido de carbono.
