Descripción del gas
Tetrafluorocarbono, también conocido como tetrafluorometano. Gas incoloro, inodoro e inodoro. Insoluble en agua, 0,0015 a 25 ℃ bajo presión normal, soluble en cloroformo y benceno. Este producto no es tóxico ni inflamable. En altas concentraciones, tiene un efecto anestésico. Su gas de alta pureza y su mezcla con oxígeno de alta pureza son actualmente el gas de grabado de plasma más utilizado en la industria de la microelectrónica. Chemicalbook también se puede utilizar como refrigerante de baja temperatura y medio aislante. Buena estabilidad química y térmica, inerte a muchos reactivos, no se hidroliza a 1000 ℃. No reacciona con cobre, níquel y tungsteno a temperatura ambiente. Debido a la fuerte estabilidad química del enlace CF, los perfluorocarbonos representados por CF4 pueden considerarse esencialmente no tóxicos.
Usos principales
El tetrafluoruro de carbono es actualmente el gas de grabado de plasma más utilizado en la industria de la microelectrónica. Se utiliza ampliamente para grabar materiales de película delgada como silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio, vidrio fosforosilicato y tungsteno. También se utiliza ampliamente en la limpieza de superficies de dispositivos electrónicos, producción de células solares, tecnología láser, refrigeración a baja temperatura, aislamiento de gas, agentes de detección de fugas, control de actitud de cohetes espaciales, agentes de limpieza, lubricantes y líquidos de frenos en la producción de circuitos impresos. Debido a su fuerte estabilidad química, el CF4 también se puede utilizar en industrias como la fundición de metales y plásticos.
Almacenamiento y precauciones
Almacenar en un almacén exclusivo para gases no combustibles, fresco y ventilado. Mantener alejado de chispas y fuentes de calor. La temperatura de almacenamiento no debe superar los 30 ℃. Debe almacenarse separado de materiales combustibles y oxidantes, y debe evitarse el almacenamiento mixto. El área de almacenamiento debe estar equipada con equipo de respuesta a emergencias en caso de fugas.
