Introducción de gases
El etilsilano es un compuesto inorgánico con la fórmula química Si2H6. Es un gas incoloro, transparente y tóxico con un olor desagradable e irritante a temperatura y presión ambiente. Tiene propiedades químicas similares al silano, pero su reactividad es más fuerte que la del silano. Es más inestable que el silano y se descompone lentamente en silano e hidrógeno a temperatura ambiente. Se descompone en SiH4, SinHm, H2 a 300-500 ℃ y también se descompone bajo la luz. Se utiliza principalmente en células solares, tubos giratorios fotosensibles, películas de silicio amorfo, crecimiento epitaxial, películas de óxido, películas de nitruro, deposición química de vapor y otros aspectos.
Propiedades básicas
El etilsilano es un líquido transparente incoloro que se enciende espontáneamente en el aire, con un punto de ignición inferior a la temperatura ambiente. Cuando entra en contacto con el aire, se quema inmediatamente y se descompone en SiH4 y H2. El rango de concentración de combustión es amplio y cuando la concentración es superior al 0,2%, se emite una llama durante la combustión; Cuando la concentración es inferior al 0,2%, se lleva a cabo una reacción de oxidación para generar SiO2 blanco. Combustión explosiva en cloro gaseoso. Reacciona explosivamente con gases halógenos, pero si está a bajas temperaturas, realice la halogenación moderada. Si entra en contacto con SF6, explotará. Intensa reacción con tetracloruro de carbono y cloroformo. Reacciona y se descompone con metales alcalinos y aleaciones de mercurio para producir silano e hidrógeno. Reacciona con potasio cáustico para liberar H2. No reacciona con agua pura ni ácido, pero reacciona con álcali para producir silicatos e hidrógeno. Incluso la presencia de trazas de álcali disuelto en el vidrio puede provocar la hidrólisis del etano. En presencia de impurezas de KH o LiCl, se descompone lentamente a temperatura ambiente.
Si2H6- → SiH4+(SiH2) x
El etilsilano es soluble en disulfuro de carbono, alcohol etílico, benceno y ácido etil silícico. Corroe el caucho, la mantequilla, los lubricantes, el plomo, etc., pero no corroe la mayoría de los metales.
Usos principales
1. Se utiliza en células solares, tubos giratorios fotosensibles, películas de silicio amorfo, crecimiento epitaxial, películas de óxido, películas de nitruro, deposición química de vapor y otros campos. En la producción de células solares, la tasa de deposición de etileno silano en obleas de silicio amorfo es mucho más rápida que la del silano, y la temperatura se puede reducir entre 200 y 300 ℃. En la implantación de iones, es más probable que el uso de etano como fuente de iones brille y tenga una corriente de haz más fuerte, lo que produce resultados significativamente mejores que el uso de otros gases como fuente de iones.
2. En tecnología de semiconductores, se utiliza para procesos epitaxiales y de difusión, así como para tambores fotosensibles utilizados en células solares y fotografía electrónica.
