Una de las características importantes de los láseres de gas es que el medio láser es una mezcla de gases o un solo gas puro. Por lo tanto, existen requisitos especiales para la pureza de los componentes del gas de mezcla láser, y los cilindros de acero utilizados para envasar el gas de mezcla también deben secarse antes de llenarlos para evitar la contaminación del gas de mezcla. Si el láser de helio-neón se considera la primera generación de láseres de gas, el láser de dióxido de carbono es la segunda generación de láseres de gas, el láser KrF, que se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores, puede considerarse la tercera generación de láseres.
